Revêtement d'arc dk

Revêtement en arc

PVD - Dépôt de vapeur physique
Une forme de dépôt physique de vapeur (revêtement PVD) est le revêtement en arc. L'histoire du revêtement PVD a commencé à utiliser la technologie d'arc, qui a son origine dans le soudage à l'arc.

Cibles

Le métal à évaporer est placé sous forme de bloc solide (cible) contre l'intérieur d'une chambre à vide. Une décharge de lueur est enflammée et fonctionne sur la cible, laissant une empreinte. De petits taches de quelques matériaux cibles de diamètre μm sont évaporées. Le mouvement de l'arc peut être guidé par des aimants.

Revêtement de plasma

Le matériau ionisé évaporé est utilisé comme revêtement de plasma sur un produit qui tourne à l'intérieur de la chambre à vide. Les revêtements d'arc sont utilisés comme revêtement d'outil et revêtement de composants.

Exemples de revêtements

Des exemples de revêtement d'arc sont les étain, l'aitin, l'AICRN, la tisin, le ticn, le CRCN et le revêtement

Vue schématique d'un processus d'arc PVD.

La technologie de revêtement caractérisée:

Des taux de dépôt élevés (1 ~ 3 μm / h) une ionisation élevée, résultant en une bonne adhérence et des revêtements denses lorsque la cible est refroidie, peu de chaleur au substrat est générée, même le revêtement à des températures inférieures à 100 ℃ est possible plusieurs compositions de métaux peuvent être évaporées, laissant la cible solide restante non changée dans sa composition. Les cathodes peuvent être placés dans n'importe quelle position (horizontal, vertical, à l'envers), ce qui rend la conception flexible de la machine.

Les principaux inconvénients de la technologie du revêtement d'arc:

Type limité de matériaux cibles - Métaux uniquement (pas d'oxydes) - qui n'ont pas de température d'évaporation trop basse en raison des densités de courant élevé Une certaine quantité du matériau cible est éjectée sous forme de petites gouttelettes liquides.