Quelles sont les étapes pour utiliser la machine de revêtement sous vide ?

Machine de revêtement sous vide se réfère principalement à un type de revêtement qui doit être réalisé sous un vide plus élevé, y compris de nombreux types, y compris l'évaporation par chauffage par résistance au vide, l'évaporation par chauffage par canon à électrons, la pulvérisation magnétron, l'épitaxie par faisceau moléculaire MBE, le dépôt par pulvérisation laser PLD, ion Il existe de nombreux types de pulvérisation de faisceau. L'idée principale est divisée en deux types d'évaporation et de pulvérisation.

Fonctionnement de l'armoire de commande électrique
1. Allumez la pompe à eau et la source d'air.
2. Allumez l'alimentation principale.
3. Mettez sous tension la pompe de maintenance et le vacuomètre, position du vacuomètre V1, attendez que la valeur soit inférieure à 10, puis passez à l'étape suivante. Cela prend environ 5 minutes.
4. Allumez la pompe mécanique, pré-pompe, allumez la pompe turbo moléculaire et démarrez-la. L'interrupteur de la jauge à vide est mis en position V2. Il faut environ 20 minutes pour pomper à moins de 2.
5. Après avoir observé que la lecture de la pompe turbomoléculaire atteint 250, éteignez la pré-pompe, allumez la pompe primaire et la vanne de vide poussé pour continuer à aspirer. Une fois que le vide atteint un certain niveau, allumez la jauge de vide poussé à droite pour observer le vide. Ce n'est qu'après que le vide atteint 2 × 10-3 que l'alimentation du canon à électrons peut être activée.

Fonctionnement du DEF-6B
1. Alimentation totale.
2. Allumez le contrôle du pistolet à électrons Ⅰ et le contrôle du pistolet à électrons Ⅱ en même temps : appuyez sur le contrôle du pistolet à électrons Ⅰ, l'interrupteur de temporisation, les voyants de temporisation, d'alimentation et de protection sont allumés. Au bout de trois minutes, les voyants de temporisation et de protection s'éteignent. Si la porte arrière n'est pas fermée ou si le relais de débit d'eau est en panne, le voyant de protection sera toujours allumé.
3. Lorsque la haute tension est allumée, la haute tension atteindra plus de 10KV, le courant du faisceau peut être ajusté à environ 200mA, la grille du rideau est de 20V/100mA, le courant du filament est de 1,2A et le courant de déviation oscille entre 1 et 1.7.

Séquence d'arrêt
1. Éteignez le vide poussé et la pompe moléculaire.
2. Lorsque l'affichage de la pompe moléculaire atteint 50, éteignez tour à tour la vanne haute, l'étage avant et la pompe mécanique. Cette période dure environ 40 minutes.
3. Lorsqu'il est inférieur à 50, éteignez à nouveau la pompe de maintenance.