1. Chambre à vide
équipement de revêtement a principalement deux formes: ligne de production de revêtement en continu et machine de revêtement à chambre unique, fabrication de matériaux en acier inoxydable, soudage à l'arc sous argon, traitement de polissage chimique de surface et diverses spécifications d'interfaces de bride sont soudées sur les composants de la chambre à vide.
2, partie d'acquisition sous vide
Dans la technologie du vide, la partie acquisition du vide est une partie importante. L'acquisition du vide ne peut pas être réalisée par un seul équipement et procédé de vide. Plusieurs pompes doivent être utilisées en combinaison, telles que des pompes mécaniques, des pompes Roots, des systèmes de pompes moléculaires, etc.
3, partie de mesure du vide
La partie de mesure du vide du système de vide consiste à mesurer la pression dans la chambre à vide. Comme une pompe à vide, aucune jauge à vide ne peut mesurer toute la plage de vide, de sorte que les gens ont fabriqué de nombreux types de jauges à vide selon différents principes et exigences. Tels que thermocouple, compteur d'ionisation, compteur Pirani, etc.
4. Partie alimentation
L'alimentation cible comprend principalement une alimentation CC, une alimentation à fréquence intermédiaire, une alimentation à impulsions et une alimentation à radiofréquence (RF). Les fabricants d'alimentation courants incluent AE, ADL, Hottinger, etc.
5. Système d'entrée de gaz de procédé
Les gaz de procédé, tels que l'argon (Ar), le krypton (Kr), l'azote (N2), l'acétylène (C2H2), le méthane (CH4), l'hydrogène (H2), l'oxygène (O2), etc., sont généralement fournis par des bouteilles de gaz. Vanne de réduction de pression de gaz, vanne d'arrêt de gaz, pipeline, débitmètre de gaz, électrovanne, vanne piézoélectrique, puis dans la chambre à vide. L'avantage de ce système d'entrée de gaz est que le pipeline est simple et clair et qu'il est facile de réparer ou de remplacer la bouteille de gaz. Les machines de revêtement ne s'affectent pas les unes les autres. Il existe également des cas où plusieurs machines de revêtement partagent un ensemble de bouteilles de gaz. Cette situation peut être observée dans certains ateliers de revêtement à grande échelle. Son avantage est qu'il réduit l'occupation des bouteilles de gaz, une planification unifiée et une disposition unifiée. L'inconvénient est qu'en raison de l'augmentation du nombre de joints, le risque de fuite d'air augmente. De plus, les machines de revêtement interfèrent les unes avec les autres et le pipeline d'une machine de revêtement peut laisser échapper de l'air, ce qui peut affecter la qualité du produit d'autres machines de revêtement. De plus, lors du remplacement des bouteilles de gaz, il est nécessaire de s'assurer que toutes les machines sont dans un état sans gaz.
6. Partie transmission mécanique
Le revêtement nécessite que l'épaisseur de la périphérie soit uniforme. Par conséquent, il doit y avoir trois rotations dans le processus de revêtement pour répondre aux exigences. Autrement dit, alors que la grande table de pièce doit tourner (I), le petit porte-pièce tourne également (II) et la pièce elle-même peut tourner en même temps (III). Dans la conception mécanique, il y a généralement un grand engrenage d'entraînement au centre du bas du grand plateau tournant de la pièce, et quelques petites roues en étoile s'engrènent avec celui-ci. Si le produit doit être tourné, la pièce est généralement tournée par une fourchette de changement de vitesse.
7, partie de mesure de chauffage et de température
L'équipement de revêtement a généralement des éléments chauffants dans différentes positions et des thermocouples sont utilisés pour mesurer et contrôler la température. Cependant, étant donné que la position de serrage du thermocouple est différente de la position de la pièce, la lecture de la température ne peut pas être la température réelle de la pièce. Pour mesurer la température réelle de la pièce, il existe de nombreuses méthodes, vous pouvez installer du papier test haute température ou un thermocouple sur la pièce.
8. Évaporation des ions et source de pulvérisation
La source d'évaporation du placage multi-arcs a généralement la forme d'un gâteau rond, communément appelé cible de gâteau rond, et il existe également des cibles multi-arcs rectangulaires. Un aimant est installé dans la base cible. En déplaçant l'aimant d'avant en arrière, l'intensité du champ magnétique est modifiée et la vitesse de déplacement et la trajectoire du point d'arc peuvent être ajustées. Afin de réduire la température de la cible et de la base cible, la base cible doit être continuellement alimentée en eau de refroidissement. Afin d'assurer une conductivité électrique et thermique élevée entre la cible et la base de cible, un joint en étain peut également être ajouté entre la cible et la base de cible. Le revêtement par pulvérisation magnétron utilise généralement des cathodes de pulvérisation rectangulaires ou cylindriques.
9, système de refroidissement par eau
se compose généralement d'un château d'eau froide, d'une machine à eau glacée, d'une pompe à eau, etc.
10, système de contrôle industriel
espagnol
Portugais
