Traits:
• Une performance supérieure
• Large plage de puissance et de fréquence
• Système de gestion d'arc rapide
• Technologie avancée de gestion des arcs, énergie résiduelle d'arc extrêmement faible
• Structure de conception flexible et modulaire
• Courant de sortie élevé
• Technologie d'alimentation de pointe
Bénéfice client :
• Adaptable à divers processus et applications
• Dépôt de film mince et uniformité du film
• Vitesse de dépôt élevée dans des conditions extrêmement technologiques
• Intégration pratique du système
• Large plage de régulation de puissance
• Haute fiabilité
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