Caractéristiques:
• Performance supérieure
• Une large alimentation et une plage de fréquences
• Système de gestion de l'arc rapide
• Technologie avancée de gestion de l'arc, énergie résiduelle à faible arc
• Structure de conception flexible et modulaire
• Courant de sortie élevé
• Meniation de la technologie de puissance
Avantage client:
• Réglable à divers processus et applications
• Dépôt de couches minces et uniformité cinématographique
• Vitesse de dépôt élevée dans des conditions technologiques
• Intégration du système pratique
• Large gamme de réglementations de puissance
• Fiabilité élevée