Afin de réaliser réellement la loi de contrôle de la rétroaction de l'état, il est nécessaire d'utiliser l'entrée et la sortie de l'objet de contrôle qui peuvent être directement mesurées, et d'établir un système dynamique pour déterminer l'état en fonction de la machine à revêtement à vide, qui est appelée observateur. Le système dynamique dont la loi de contrôle lui-même est déterminé par la sortie est appelé compensateur dynamique.
L'une des plus grandes caractéristiques de la conception du système de contrôle basé sur l'équation de l'État est que la conception de l'estimateur de l'État est effectuée indépendamment après la détermination de la loi de contrôle.
C'est-à-dire, à l'exception de la structure de l'objet de contrôle, il est calculé par algorithme.
De cette façon, un système qui inclut non seulement l'objet de contrôle, y compris l'environnement externe, mais rend également la boucle fermée stable et peut suivre la valeur cible est formée. Cependant, le problème difficile pour les concepteurs de fabricants de machines à revêtement sous vide est de savoir s'il faut utiliser la fonction d'évaluation ou la méthode de configuration du poteau après que des indicateurs de conception spécifiques soient donnés.
Afin de résoudre ce problème, la fonction d'évaluation est généralement modifiée, puis la fonction d'évaluation est trouvée en fonction du changement des caractéristiques du système de contrôle, qui doit être répétée plusieurs fois.
Le contrôle du système de la machine à revêtement à vide adopte souvent la forme de sortie du système linéaire en étanche ou bloque pour exprimer une perturbation externe et une valeur cible. Par conséquent, dans la théorie du contrôle moderne, un tel système de contrôle est appelé un "système de servomoteur" en particulier.
La conception de ce système de servo est réalisée comme suit: établir un modèle d'environnement externe comprenant des objets de contrôle tels que les perturbations et les valeurs cibles, et recherchez des lois sur la rétroaction de l'État pour l'ensemble du système combiné avec des objets de contrôle. Machine de revêtement à vide à évaporation thermique
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