Qu'est-ce que la pulvérisation réactive?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Qu'est-ce que la pulvérisation réactive?

La pulvérisation est une technique courante pour le dépôt de vapeur physique (PVD) Machine de revêtement à vide du film dur en Chine , l'une des méthodes de production de revêtements en couches minces. La pulvérisation standard utilise une cible de tout matériau pur souhaité et un gaz inerte, généralement de l'argon.

Si le matériau est un seul élément chimique pur, les atomes se détachent simplement de la cible sous cette forme et déposent sous cette forme.

Cependant, il est également possible d'utiliser un gaz non inerte tel que l'oxygène ou l'azote à la place de, soit (plus souvent) en plus du gaz inerte (argon). Lorsque cela est fait, le gaz non inerte ionisé peut réagir chimiquement avec le nuage de vapeur de matériau cible et produire un composé moléculaire qui devient ensuite le film déposé. Par exemple, une cible de silicium pulvérisée de manière réactive avec de l'oxygène peut produire un film d'oxyde de silicium, ou avec de l'azote gazeux peut produire un film de nitrure de silicium.