Qu'est-ce qu'une machine à revêtement à vide de pulvérisation de magnétron et comment fonctionne-t-elle?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Qu'est-ce qu'une machine à revêtement à vide de pulvérisation de magnétron et comment fonctionne-t-elle?

La machine à revêtement à vide de la pulvérisation magnétron est une technologie de pointe utilisée pour le dépôt de couches minces sur un large éventail de substrats. Mais qu'est-ce que c'est exactement et comment ça marche?

À la base, le Machine de revêtement à vide de pulvérisation de magnétron est une chambre à vacuum élevé qui contient un matériau cible, généralement un métal ou un alliage, et un substrat qui doit être enduit. Le processus implique le bombardement du matériau cible par des ions à haute énergie, qui délogent les atomes de sa surface et les déposent sur le substrat, formant un film mince.

L'un des composants clés de la machine à revêtement à vide de la pulvérisation du magnétron est le magnétron, qui est un type de source de plasma qui génère un plasma hautement ionisé dans la chambre. Le magnétron se compose d'une cathode (le matériau cible), d'une anode et d'un champ magnétique. Le champ magnétique sert à limiter le plasma et à améliorer l'ionisation des molécules de gaz dans la chambre, à une pulvérisation plus efficace.

Le processus commence par pomper la chambre à un vide élevé, généralement autour de 10 ^ -6 torr. Le matériau cible est ensuite bombardé par des ions, qui éliminent les atomes et créent un flux de particules qui sont déposées sur le substrat. Le taux de dépôt et les propriétés du film peuvent être contrôlés en ajustant le flux ionique, la tension cible et la pression dans la chambre.

L'un des avantages de la machine à revêtement à vide de la pulvérisation magnétron est sa polyvalence. Il peut être utilisé pour déposer un large éventail de matériaux, y compris les métaux, les alliages, la céramique et les semi-conducteurs. Il peut également être utilisé pour créer des revêtements multicouches, qui peuvent avoir des propriétés uniques telles qu'une dureté améliorée, une résistance à l'usure ou des propriétés optiques.

Un autre avantage de la machine à revêtement à vide de la pulvérisation de magnétron est son haut niveau d'uniformité. Le champ magnétique dans la chambre sert à distribuer uniformément le flux ionique à travers la surface de la cible, à un taux de dépôt et à une épaisseur plus uniformes du film.

En conclusion, la machine à revêtement à vide de la pulvérisation de magnétron est une technologie hautement sophistiquée qui est largement utilisée dans des industries telles que l'aérospatiale, l'électronique et l'optique. Sa capacité à déposer un large éventail de matériaux, à créer des revêtements multicouches et à produire des films très uniformes en fait un outil indispensable pour la recherche et le développement ainsi qu'une production à grande échelle.

Système de dépôt de pulvérisation du magnétron DC

Les revêtements multi-arc et les revêtements de pulvérisation peuvent être déposés dans une large gamme de couleurs. Le plan des couleurs peut être encore amélioré en introduisant des gaz réactifs dans la chambre pendant le processus de dépôt. Les gaz réactifs largement utilisés pour les revêtements décoratifs sont l'azote, l'oxygène, l'argon ou l'acétylène. Les revêtements décoratifs sont produits dans une certaine gamme de couleurs, selon le rapport métal / gaz dans le revêtement et la structure du revêtement. Ces deux facteurs peuvent être modifiés en modifiant les paramètres de dépôt.

Avant le dépôt, les pièces sont nettoyées afin que la surface soit exempte de poussière ou d'impuretés chimiques. Une fois que le processus de revêtement a commencé, tous les paramètres de processus pertinents sont surveillés et contrôlés en continu par un système de contrôle automatique automatique.

• Matière de substrat: verre, métal (acier au carbone, acier inoxydable, laiton), céramique, plastique, bijoux.

• Type de structure: structure verticale, # 304 en acier inoxydable.

• Film de revêtement: film métallique multifonctionnel, film composite, film conducteur transparent, film croissant de réflectance, film de blindage électromagnétique, film décoratif.

• Couleur du film: multi-couleurs, noir pistolet, couleur dorée en titane, couleur dorée rose, couleur en acier inoxydable, couleur violette, noir foncé, bleu foncé et autres couleurs plus.

• Type de film: Tin, CRN, ZRN, Ticn, Ticrn, Tinc, Tialn et DLC.

• Consommables en production: titane, chrome, zirconium, fer, cible en alliage; cible plane, cible cylindrique, cible jumelle, cible opposée.

APPLICATION:

• Glasserie, comme la tasse en verre, les lampes en verre, les œuvres d'art en verre.

• Shell de téléphone en plastique, pièces de téléphone.

• Tile de mosaïque.

• L'industrie électronique, comme le film EMI.

• Regarde des pièces, comme le boîtier de montre et la ceinture.

• Tableaux de table, comme des fourchettes et des couteaux en métal.

• Golf, comme la tête de golf, le poteau de golf et les balles de golf.

• Produits sanitaires / marchandises de salle de bain.

• Poignées de porte et serrures.