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Machine à revêtement à vide Se fait principalement référence à un type de revêtement qui doit être effectué sous un vide plus élevé, y compris de nombreux types, notamment l'évaporation du chauffage de résistance à l'aspirateur, l'évaporation du chauffage des pistolets électron, le dépôt de sputing de magnétron, l'ion de la poutre moléculaire MBE, le dépôt de sputring laser PLD. L'idée principale est divisée en deux types d'évaporation et de pulvérisation.
Fonctionnement de l'armoire de commande électrique
1. Allumez la pompe à eau et la source d'air.
2. Allumez l'alimentation principale.
3. Allumez l'alimentation de la pompe de maintenance et la jauge à vide, la position de la jauge à vide V1, attendez que la valeur soit inférieure à 10, puis entrez l'étape suivante. Cela prend environ 5 minutes.
4. Allumez la pompe mécanique, pré-pompe, allumez la puissance de la pompe turbo moléculaire et démarrez-la. L'interrupteur de jauge à vide est modifié en position V2. Il faut environ 20 minutes pour pomper à moins de 2.
5. Après avoir observé que la lecture de la pompe turbomoléculaire atteint 250, éteignez la pré-pompe, allumez la pompe à support et la soupape à vide élevée pour continuer à aspirer. Une fois le vide atteint un certain niveau, allumez la jauge à vide élevée à droite pour observer le vide. Ce n'est qu'après que l'aspirateur atteigne 2 × 10-3 que l'alimentation du pistolet électronique peut être activée.
1. Allumez la pompe à eau et la source d'air.
2. Allumez l'alimentation principale.
3. Allumez l'alimentation de la pompe de maintenance et la jauge à vide, la position de la jauge à vide V1, attendez que la valeur soit inférieure à 10, puis entrez l'étape suivante. Cela prend environ 5 minutes.
4. Allumez la pompe mécanique, pré-pompe, allumez la puissance de la pompe turbo moléculaire et démarrez-la. L'interrupteur de jauge à vide est modifié en position V2. Il faut environ 20 minutes pour pomper à moins de 2.
5. Après avoir observé que la lecture de la pompe turbomoléculaire atteint 250, éteignez la pré-pompe, allumez la pompe à support et la soupape à vide élevée pour continuer à aspirer. Une fois le vide atteint un certain niveau, allumez la jauge à vide élevée à droite pour observer le vide. Ce n'est qu'après que l'aspirateur atteigne 2 × 10-3 que l'alimentation du pistolet électronique peut être activée.
Opération DEF-6B
1. Alimentation totale.
2. Allumez la commande du pistolet électronique ⅰ et la commande du pistolet électronique ⅱ Alimentation en même temps: Appuyez sur la commande du pistolet électronique ⅰ Alimentation, interrupteur de retard, retard, alimentation et lumières de protection sont allumés. Après trois minutes, les lumières de retard et de protection sont éteintes. Si la porte arrière n'est pas fermée ou si le relais de débit d'eau a une défaillance, le voyant de protection sera toujours allumé.
3.
Séquence d'arrêt
1. Désactivez le moustique à vide élevé et la pompe moléculaire.
2. Lorsque l'affichage de la pompe moléculaire atteint 50 ans, éteignez la valve haute, le stade avant et la pompe mécanique à leur tour. Cette période dure environ 40 minutes.
3. Lorsqu'il est inférieur à 50, éteignez à nouveau la pompe de maintenance.
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