Quels sont les principaux composants d'un système de revêtement à vide?

1. Chambre à vide

équipement de revêtement Possède principalement deux formes: la ligne de production de revêtement continu et la machine à revêtement unique, la fabrication de matériaux en acier inoxydable, le soudage à l'arc d'argon, le traitement de polissage chimique de surface et diverses spécifications des interfaces de bride sont soudées sur les composants de la chambre à vide.

2, partie d'acquisition de vide

Dans la technologie sous vide, la partie d'acquisition de vide est une partie importante. L'acquisition de l'aspirateur ne peut pas être réalisée par un seul équipement à vide et une méthode. Plusieurs pompes doivent être utilisées en combinaison, telles que les pompes mécaniques, les pompes à racines, les systèmes de pompe moléculaire, etc.

3, partie de mesure de l'aspirateur

La partie de mesure du vide du système à vide consiste à mesurer la pression dans la chambre à vide. Comme une pompe à vide, aucune jauge à vide ne peut mesurer toute la plage d'aspirateurs, de sorte que les gens ont fait de nombreux types de jauges à vide selon différents principes et exigences. Comme le compteur de thermocouples, le compteur d'ionisation, le compteur de pirani, etc.

4. Partie d'alimentation

L'alimentation cible comprend principalement l'alimentation en courant continu, l'alimentation de fréquence intermédiaire, l'alimentation d'alimentation et l'alimentation radiofréquence (RF). Les fabricants d'alimentation communs comprennent AE, ADL, Hottinger, etc.

5. Processus Système d'entrée de gaz

Les gaz de processus, tels que l'argon (AR), le krypton (KR), l'azote (N2), l'acétylène (C2H2), le méthane (CH4), l'hydrogène (H2), l'oxygène (O2), etc., sont généralement fournis par des cylindres à gaz. Vanne de réduction de la pression de gaz, soupape d'arrêt à gaz, pipeline, débitmètre de gaz, soupape d'électrovanne, valve piézoélectrique, puis dans la chambre à vide. L'avantage de ce système d'entrée de gaz est que le pipeline est simple et clair, et il est facile de réparer ou de remplacer le cylindre à gaz. Les machines de revêtement ne se affectent pas. Il existe également des cas où plusieurs machines à revêtement partagent un ensemble de cylindres à gaz. Cette situation peut être observée dans certains ateliers de revêtement à grande échelle. Son avantage est qu'il réduit l'occupation des cylindres à gaz, la planification unifiée et la disposition unifiée. L'inconvénient est qu'en raison de l'augmentation du nombre d'articulations, le risque de fuite d'air augmente. De plus, les machines de revêtement interféreront entre elles, et le pipeline d'une machine à revêtement peut fuir l'air, ce qui peut affecter la qualité du produit des autres machines à revêtement. De plus, lors du remplacement des cylindres à gaz, il est nécessaire de s'assurer que toutes les machines sont dans un état non AGS.

6. Pièce de transmission mécanique

Le revêtement nécessite que l'épaisseur de la périphérie soit uniforme. Par conséquent, il doit y avoir trois rotations dans le processus de revêtement pour répondre aux exigences. Autrement dit, alors que la grande table de la pièce est nécessaire pour tourner (I), le petit porte-éteinte tourne également (II), et la pièce elle-même peut tourner en même temps (III). Dans la conception mécanique, il y a généralement un grand équipement de conduite au centre du bas de la grande plaque tournante de la pièce, et quelques petites roues étoiles s'yh. Si le produit doit être tourné, la pièce est généralement tournée par une fourchette à décalage.

7, partie de mesure du chauffage et de la température

L'équipement de revêtement a généralement des radiateurs dans différentes positions, et des thermocouples sont utilisés pour mesurer et contrôler la température. Cependant, comme la position de serrage du thermocouple est différente de la position de la pièce, la lecture de la température ne peut pas être la véritable température de la pièce. Pour mesurer la véritable température de la pièce, il existe de nombreuses méthodes, vous pouvez installer du papier d'essai à haute température ou du thermocouple sur la pièce.

8. Source d'évaporation et de pulvérisation des ions

La source d'évaporation de placage multi-arc est généralement en forme de gâteau rond, communément appelé cible de gâteau ronde, et il existe également des cibles multi-arc rectangulaires. Un aimant est installé dans la base cible. En déplaçant l'aimant d'avant en arrière, l'intensité du champ magnétique est modifiée et la vitesse de déménagement et la trajectoire de la tache d'arc peuvent être ajustées. Afin de réduire la température de la cible et de la base cible, la base cible doit être fournie en continu avec de l'eau de refroidissement. Afin d'assurer une conductivité électrique et thermique élevée entre la cible et la base cible, un joint en étain peut également être ajouté entre la cible et la base cible. Le revêtement de pulvérisation de magnétron utilise généralement des cathodes de pulvérisation rectangulaire ou cylindrique.

9, système de refroidissement par eau

Consiste généralement en château d'eau froide, machine à eau glacée, pompe à eau, etc.

10, Système de contrôle industriel