Quels sont les matériaux cibles de revêtement PVD communs?

Le matériau de revêtement qui va être pulvérisé ou vaporisé est connu sous le nom de «cible» ou «matériau source». Il existe des centaines de matériaux couramment utilisés dans le PVD Évaporation des machines de revêtement à vide fournisseurs . Selon le produit final, les matériaux vont des métaux, des alliages, de la céramique, des compositions et à peu près n'importe quoi dans le tableau périodique.

Certains processus nécessitent des revêtements uniques comme les carbures, les nitrures, les silicides et les borures pour des applications spécialisées. Chacun a des qualités spéciales adaptées à des exigences de performance spécifiques. Le graphite et le titane par exemple sont souvent utilisés dans les composants aérospatiaux et automobiles haute performance où la friction et la température sont des facteurs de réussite cruciaux.

Pour obtenir une épaisseur uniforme de revêtement de film mince qui sont souvent quelques atomes ou molécules épais, les pièces à enrober sont souvent tournées sur plusieurs axes à une vitesse uniforme, ou placés sur des ceintures de convoyeurs se déplaçant devant le flux plasmatique du matériau de dépôt. Des revêtements uniques ou multicouches peuvent être appliqués pendant le même cycle de dépôt.

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