Qu'est-ce que la co-fusion et la co-évaporation?

La pulvérisation et l'évaporation thermique sont deux des dépôts de vapeur physique communs PVD Fabricants de systèmes de revêtement PVD Chine Techniques de processus de revêtement à couches minces. Réalisées dans un environnement à vide élevé, ces méthodes sont au cœur du semi-conducteur, de l'optique, de la photonique, de l'implant médical, des industries auto à haute performance et Aero.

«CO» signifie mutuel, commun - plus d'un. La co-fusion et la co-évaporation signifient plus d'un matériau de revêtement appliqué à un substrat qui permet la création d'un large éventail de compositions et d'alliages nouvelles et remarquables avec des qualités uniques et étonnantes non possibles sans cette technologie de film mince en pleine expansion.
La copropriété est l'endroit où deux ou plusieurs matériaux cibles (ou «source») sont pulvérisés, en même temps ou en séquence dans la chambre à vide, et sont souvent utilisés avec une pulvérisation de magnétron réactive pour produire des films minces qui sont combinatoires tels que les alliages métalliques ou les compositions non métalliques telles que les céramiques.

Il est largement utilisé dans les industries optiques et architecturales en verre. En utilisant la copie réactive de deux matériaux cibles tels que le silicium et le titane avec une double pulvérisation de magnétron, l'indice de réfraction ou l'effet d'ombrage du verre peut être soigneusement et précisément contrôlé sur des applications allant des surfaces à grande échelle, comme le verre architectural, aux lunettes de soleil. Il est également largement utilisé en produisant des panneaux solaires et des écrans. Les applications de co-bradifromètre continuent de croître chaque jour.

La co-braquage utilise plus d'une cathode (généralement deux ou trois) dans la chambre de processus où la puissance de chaque cathode peut être contrôlée indépendamment. Cela peut signifier à la fois avoir plusieurs cathodes du même matériau cible fonctionnant en même temps pour augmenter les taux de dépôt, ou cela peut également signifier combiner différents types de matériaux cibles dans la chambre de processus pour créer des compositions et des propriétés uniques dans les couches minces.

Des cibles de silicium qui sont pulvérisées dans un plasma contenant de l'oxygène car le gaz réactif forme SiO2 qui a un indice de réfraction de 1,5. Le titane a pulvérisé dans le plasma avec de l'oxygène forme TiO2 avec un indice réfléchissant de 2,4. En co-diabolisant ces deux cibles, des matériaux de revêtement et en faisant varier la puissance à chacun de ces doubles magnétrons, l'indice de réfraction précis du revêtement peut être personnalisé et déposé sur le verre à tout indice de réfraction souhaité entre 1,5 et 2,5.

De cette façon, la co-braquage réactive a permis la création de revêtements à couches minces sur le verre et d'autres matériaux avec des indices de réfraction personnalisables ou gradués - y compris même des revêtements qui modifient les caractéristiques réfléchissantes du verre architectural à mesure que le soleil se renforce ou plus faible.
La co-évaporation est un processus d'évaporation thermique qui peut avoir des avantages ou des inconvénients par rapport à la co-braquage, en fonction de l'application spécifique, qui est mieux compris en définissant les différences fondamentales entre l'évaporation et la pulvérisation des processus de revêtement PVD.

Avec la co-évaporation, les matériaux de revêtement sont chauffés dans une chambre à vide élevée jusqu'à ce qu'elles commencent à s'évaporer ou à sublimer. Ceci est réalisé par le matériau source chauffé et évaporé soit à partir d'un bateau / barre de fil filamentaire résistif, soit d'un creuset à l'aide d'un faisceau d'électrons. Pour atteindre un degré élevé d'uniformité avec des films minces thermiquement évaporés, le substrat à enrober est souvent manipulé en le tournant sur un ou deux axes dans la chambre de dépôt.

Les applications courantes des films minces de co-évaporation sont avec des revêtements métallisés sur les plastiques, le verre ou d'autres substrats qui fournissent un degré élevé d'opacité et de réflectivité, les miroirs du télescope et les panneaux solaires.

Des panneaux solaires basés sur Cu (IN, GA) SE2 (CIGS) ont atteint les efficacités record les plus élevées parmi les cellules solaires à couches minces avec une efficacité record de plus de 20%. La clé de ce succès est le processus de co-évaporation en 3 étapes qui se traduit par un gradient de GA double en profondeur avec une concentration accrue de GA des surfaces avant et arrière du dépôt de couches minces. Ce sont le type d'efficacité stoechiométrique que les processus de co-évaporation fournissent dans le monde réel en faisant un monde plus vert, plus propre et plus économe en énergie qui se développe rapidement dans le futur.