Comment résoudre la non-uniformité des films pulvérisés au magnétron ?

Premièrement, l'uniformité et la direction du champ magnétique doivent être assurées pour former un champ magnétique spatial relativement uniforme.

Deuxièmement, l'uniformité de la pression d'air doit être assurée autant que possible. Lors de la conception de la chambre à vide, la position d'installation de la pompe à vide, la manière Usine de machines de revêtement sous vide par évaporation de l'admission de gaz de procédé et la disposition de la conduite de procédé dans la chambre doivent être prises en compte.

Troisièmement, étant donné que le champ magnétique et la pression d'air ne peuvent pas être absolument idéaux, le champ magnétique peut être compensé par la non-uniformité de la pression d'air pour rendre le film final uniforme.

Quatrièmement, la distance de base cible est également un facteur important affectant l'uniformité.