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Comment entretenir et installer le canon à électrons de la machine de revêtement optique ?

Update:04-01-2022
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La machine de revêtement optique est principalement composé d'une salle des machines de revêtement sous vide, d'un aspirateur et d'une armoire électrique (armoire électrique de commete, armoire électrique de canon à électrons), et est utilisé dans la microélectronique, la formation de films optiques, la décoration civile, l'ingénierie de surface et d'autres domaines. Le principe de fonctionnement des équipements de revêtement optique consiste à utiliser des faisceaux d'électrons pour chauffer des matériaux métalliques ou non métalliques à une température appropriée sous vide poussé, puis à les évaporer en molécules de vapeur. Le libre parcours moyen est supérieur à la distance de la source d'évaporation au substrat à évaporer. Les molécules de vapeur évaporées sont guidées dans toutes les directions et déposées à la surface du substrat pour former un film mince. Permettez-moi de parler des méthodes d'installation et de maintenance du canon à électrons:
Le système de contrôle de l'alimentation du canon à électrons est composé d'une alimentation à filament, d'une alimentation haute tension, d'une alimentation de balayage, d'une alimentation de conduite de creuset, d'une alimentation d'évaporation, etc.
Le canon à électrons contrôle la haute tension dans l'armoire électrique. Le fonctionnement normal de chaque dispositif de verrouillage de la porte de l'armoire est requis avant les travaux. Les non-professionnels ne sont pas autorisés à ouvrir la porte de l'armoire électrique. En fonctionnement, le canon à électrons ne doit pas ouvrir la porte de l'armoire électrique. L'armoire électrique de l'ensemble de la machine de revêtement optique doit être bien mise à la terre et connectée à la terre de la machine.
La source de vapeur du canon à électrons est installée sur la plaque inférieure de la chambre à vide et doit avoir un bon effet de mise à la terre avec la plaque inférieure. L'installation de la source de vapeur doit être fixée avec des vis en acier inoxydable, et il ne doit y avoir aucun matériau magnétique à moins de 200 mm autour, sinon cela affectera le point lumineux du canon à électrons et entraînera de mauvaises performances électroniques. Le déflecteur du canon à électrons doit être installé autant que possible à 30 mm au-dessus du milieu du creuset source d'évaporation, afin de ne pas affecter l'émission du faisceau d'électrons.
La source de vapeur du canon à électrons est un corps usiné avec précision et une bonne eau de refroidissement est nécessaire lors du travail. Une température excessive affectera la formation du faisceau d'électrons et les performances de chaque bague d'étanchéité.
(1) Tête de pistolet électronique
L'installation de la tête du pistolet affecte directement le fonctionnement normal du pistolet. 90% des pannes sont liées à la pointe du pistolet.
Une fois la pointe utilisée pendant un certain temps, en raison de la contamination des composants, cela affectera la formation et la puissance du faisceau d'électrons, il doit donc être démonté et nettoyé.
(2) Entretien du creuset
Avant de démonter le creuset, veuillez fermer le circuit d'eau et utiliser de l'air comprimé pour nettoyer l'eau dans le tube de refroidissement du canon à électrons.
(3) Entretien de la plaque conductrice magnétique et de l'anneau de balayage
La plaque de guidage et l'aimant permanent de la machine de revêtement optique n'ont pas besoin d'être démontés et entretenus fréquemment. Si vous devez démonter, veuillez faire attention au sens de polarité de l'aimant permanent et au sens de la plaque de guidage. Comme l'espace d'installation de la bobine est dense, veuillez ne pas faire levier avec des objets pointus, sinon cela causerait des dommages.

Fondée en 2007 sous le nom précédent Huahong Vacuum Technology, est professionnelle Fournisseurs de machines de revêtement de film optique en Chine and Fournisseurs de machines de revêtement de film optique , y compris, mais sans s'y limiter, les systèmes de pulvérisation, les unités de revêtement optique, les métalliseurs par lots, les systèmes de dépôt physique en phase vapeur (PVD), les équipements de dépôt de revêtement sous vide durs et résistants à l'usure, les revêtements de substrat en verre, PE, PC, les machines rouleau à rouleau pour le revêtement flexible substrats. Les machines sont utilisées pour une large gamme d'applications décrites ci-dessous (mais sans s'y limiter) les revêtements automobiles, décoratifs, durs, les revêtements de coupe d'outils et de métaux et les applications de revêtement à couche mince pour l'industrie et les laboratoires, y compris les universités. Danko Vacuum Technology Company Ltd s'engage pour étendre les limites de notre marché en fournissant des prix de haute qualité, de haute performance et de gros pour les machines de revêtement de film optique. Notre société se concentre fortement sur le service après-vente sur les marchés nationaux et internationaux, fournissant des plans de traitement de pièces précis et des solutions professionnelles pour répondre aux besoins des clients.

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