Terminologie courante du vide 7

1. dégazage : désorption artificielle des gaz des matériaux.
2. dégazage : le gaz est naturellement désorbé des matériaux.
Désorption 3.qGU ou taux de dégazage ou de dégazage：Dans un intervalle de temps donné, le débit de gaz (ou débit moléculaire) de désorption (ou de dégonflage ou de dégazage) du matériau est divisé par le temps et la surface. Fournisseurs de machines de revêtement au plasma en Chine
4. taux d'évaporation : nombre de molécules (ou masse ou masse) évaporées de la surface dans un intervalle de temps donné divisé par le temps et la surface.
5. Temps de dégrossissage : le temps nécessaire à une pompe à vide avant ou à un dispositif de pompage à vide avant pour pomper de la pression atmosphérique à la pression de base ou pour démarrer la pression d'une pompe à vide fonctionnant à une pression relativement basse.
6. temps de pompage : réduction de la pression du système de vide de la pression atmosphérique à une certaine pression, telle que le temps nécessaire pour atteindre la pression de base.