1.Pompe de maintenance : dans le système de vide, le volume d'air est très faible et la pompe avant ne peut pas être utilisée efficacement. A cet effet, une petite pompe auxiliaire est équipée pour entretenir la pompe principale, appelée pompe de maintenance. Si une petite pompe à palettes est installée en sortie de pompe à diffusion, c'est la pompe de maintenance. Fourniture Machines de Revêtement PVD Chinois
2. revêtement sous vide : une méthode de préparation d'un film sur un substrat sous vide.
3. Substrat : accepteur de membrane.
4. Substrat de test:Substrat utilisé pour la mesure et/ou le test au début, pendant ou après le revêtement.
5. Matériau de revêtement : matières premières utilisées pour fabriquer le film.
6. matériau de pulvérisation : matériau de revêtement utilisé pour la pulvérisation dans la pulvérisation sous vide.
7.film material:Matériaux qui composent le film.
8. taux de pulvérisation : dans un intervalle de temps donné, la quantité de matériau pulvérisé est divisée par l'intervalle de temps.
9.taux de dépôt : dans un intervalle de temps donné, la quantité de matériau déposé sur le substrat est divisée par l'intervalle de temps et la surface du substrat.
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