Méthodes courantes de détection des fuites de vide

Détection de fuites par spectrométrie de masse à l'hélium

Cette technologie est une technologie incontournable dans le domaine de la détection de fuite sous vide. Il est largement utilisé dans la détection des fuites en raison de son efficacité élevée de détection des fuites, de son fonctionnement facile, de sa réponse sensible aux instruments, de sa haute précision et non Fournisseurs de systèmes de revêtement PVD en Chine facilement gêné par d'autres gaz. Le détecteur de fuites à spectromètre de masse à l'hélium est une sorte d'instrument de détection d'étanchéité au gaz basé sur le principe de la spectrométrie de masse, qui utilise l'hélium comme gaz indicateur de fuite. Il est composé d'une source d'ions, d'un analyseur, d'un collecteur, d'une jauge d'ionisation à cathode froide, d'une chambre de spectrométrie de masse, d'un système d'échappement et d'une partie électrique. Les électrons émis par le filament dans la chambre de spectrométrie de masse oscillent d'avant en arrière dans la pièce et entrent en collision avec le gaz intérieur et l'hélium entrant dans la pièce par le trou qui fuit pour s'ioniser en ions positifs. Ces ions d'hélium pénètrent dans le champ magnétique sous les cerveaux gauche et droit du champ électrique accéléré et se déforment sous l'action de la force de Lorentz, formant une orbite en arc de cercle et modifiant le champ électrique accéléré. La pression permet de détecter des ions de masse différente en atteignant le pôle de réception à travers des champs magnétiques et des fentes de réception. La méthode d'injection d'hélium et la méthode d'absorption d'hélium sont les deux méthodes les plus couramment utilisées dans la détection des fuites du spectromètre de masse à l'hélium.