Méthodes courantes de la technologie PVD
Pulvérisation RF (radiofréquence)
La fréquence de pulvérisation RF est d'environ 13,56 MHz. Il n'a pas besoin de cathode chaude et peut pulvériser à basse pression et tension. La pulvérisation RF peut déposer Fournisseurs de systèmes de revêtement PVD en Chine non seulement des films métalliques, mais également des films diélectriques isolants de divers matériaux, il a donc une large gamme d'applications.
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