Étapes de nettoyage de la pièce avant de recouvrir la machine à revêtement à vide

Afin d'améliorer l'adhésion et la douceur du film plaqué à la surface du substrat, ainsi que la compacité du film, avant que le substrat ne soit accroché dans la machine à revêtement à vide, une étape de nettoyage préliminaire doit être effectuée pour éliminer les taches d'huile, les taches, la poussière, pour s'assurer qu'elle est à l'état propre, puis le revêtement.

1. Nettoyage de chauffage sous vide

La pièce est chauffée sous une pression ou un aspirateur normal. Promouvoir l'évaporation des impuretés volatiles à la surface pour atteindre le but du nettoyage. L'effet de nettoyage de cette méthode est lié à la pression ambiante de la pièce, à la durée du temps de rétention dans le vide, à la température de chauffage, au type de contaminants et au matériau de la pièce. Le principe est de chauffer la pièce. Promouvoir la désorption améliorée des molécules d'eau et diverses molécules d'hydrocarbures adsorbées à sa surface. Le degré d'amélioration de la désorption dépend de la température. Dans un vide ultra-élevé, afin d'obtenir des surfaces atomiquement propres, la température de chauffage doit être supérieure à 450 degrés. La méthode de nettoyage du chauffage est particulièrement efficace. Mais parfois, cette approche peut également avoir des effets secondaires. À la suite du chauffage, il peut se produire que certains hydrocarbures s'agrégère en agglomérats plus grets et se décomposent en même temps en résidus de carbone

2. Nettoyage d'irradiation ultraviolette

Utilise le rayonnement UV pour décomposer les hydrocarbures à la surface. Par exemple, l'exposition à l'air pendant 15 heures produit une surface en verre propre. Si les surfaces correctement pré-nettoyées sont placées dans une source UV générateurs d'ozone. Une surface propre peut être créée en quelques minutes (procédé propre). Cela indique que la présence d'ozone augmente le taux de nettoyage. Le mécanisme de nettoyage est: sous l'irradiation ultraviolette, les molécules de saleté sont excitées et dissociées, et la génération et l'existence d'ozone produisent de l'oxygène atomique très actif. Les molécules de saleté excitées et les radicaux libres générés par la dissociation de la saleté interagissent avec l'oxygène atomique. Des molécules plus simples et plus volatiles se forment. Comme H2O3, CO2 et N2. La vitesse de réaction augmente avec l'augmentation de la température.

3. Nettoyage à la décharge

Cette méthode de nettoyage est largement utilisée dans le nettoyage et le dégazage des systèmes à vide élevé et à ultra-high. Particulièrement utilisé dans les machines de revêtement à vide. Un fil chaud ou une électrode est utilisé comme source d'électrons. L'application d'un biais négatif à la surface à nettoyer peut réaliser la désorption du gaz par bombardement ionique et élimination de certains hydrocarbures. L'effet de nettoyage dépend du matériau de l'électrode, de la géométrie et de sa relation avec la surface. Autrement dit, cela dépend du nombre d'ions et d'énergie ionique par unité de surface. Cela dépend ainsi de la puissance électrique disponible. La chambre à vide est remplie d'un gaz inerte (généralement des gaz AR) à une pression partielle appropriée. Le nettoyage peut être obtenu par bombardement ionique par décharge de lueur à basse tension entre deux électrodes appropriées. dans cette méthode. Le gaz inerte est ionisé et bombarde la paroi intérieure de la chambre à vide, d'autres parties structurelles de la chambre à vide et le substrat à étaler, ce qui peut rendre certains systèmes à vide exonérés de cuisson à haute température. De meilleurs résultats de nettoyage pour certains hydrocarbures peuvent être obtenus si l'oxygène est ajouté au gaz chargé. Parce que l'oxygène peut oxyder certains hydrocarbures pour former des gaz volatils facilement éliminés par le système de vide. Les principaux composants des impuretés à la surface du vide élevé en acier inoxydable et des récipients à vide à ultra-hauts sont le carbone et les hydrocarbures. En général, le carbone ne peut pas être volatilisé seul. Après le nettoyage chimique, il est nécessaire d'introduire des gaz mélangés AR ou AR O2 pour le nettoyage des décharges de lueur, de sorte que les impuretés à la surface et les gaz liés à la surface en raison de l'action chimique soient éliminés. dans le nettoyage des décharges de lueur. Les paramètres importants sont le type de tension appliquée (CA ou DC), l'amplitude de la tension de décharge, la densité de courant, le type de gaz chargé et la pression. La durée du bombardement. La forme des électrodes et le matériau et l'emplacement des pièces à nettoyer, etc.

4. Fushing au gaz

(1) rinçage d'azote

Lorsque l'azote est adsorbé à la surface du matériau, en raison de la petite énergie d'adsorption, le temps de rétention de surface est court. Même s'il est adsorbé sur le mur de l'appareil, il est facile d'être pompé. L'utilisation de cette propriété d'azote pour rincer le système d'aspiration peut considérablement raccourcir le temps de pompage du système. Par exemple, avant que la machine à revêtement sous vide ne soit placée dans l'atmosphère, remplissez la chambre à vide d'azote sec pour le rincer, puis le remplissez dans l'atmosphère, le temps de pompage du cycle de pompage suivant peut être raccourci de près de la moitié mur de chambre. Étant donné que le site d'adsorption est fixé, il est rempli d'abord de molécules d'azote, et il y a très peu de molécules d'eau adsorbées, raccourcissant ainsi le temps de pompage. Si le système est pollué par les éclaboussures d'huile de la pompe de diffusion, la méthode de rinçage de l'azote peut également être utilisée pour nettoyer le système pollué. Généralement, lors de la cuisson et du chauffage du système, le rinçage du système avec de l'azote gazeux peut éliminer la pollution pétrolière.

(2) rinçage de gaz réactif

Cette méthode est particulièrement adaptée au lavage interne (éliminant la contamination par les hydrocarbures) de grands revêtements sous vide en acier inoxydable ultra-élevé. Habituellement, pour les chambres à vide et les composants à vide de certains grands systèmes à vide ultra-hauts, afin d'obtenir des surfaces atomiquement propres, les méthodes standard pour éliminer la contamination de la surface sont le nettoyage chimique, la torréfaction du four à vide, le nettoyage des décharges de lueur et les systèmes d'aspiration d'origine et d'autres méthodes. Les méthodes de nettoyage et de dégazage décrites ci-dessus sont couramment utilisées avant et pendant l'assemblage d'un système à vide. Une fois le système à vide installé (ou après le fonctionnement du système), car les différents composants du système de vide ont été fixés, il est difficile de dégraser les différents composants du système de vide. Une fois que le système est (accidentellement) contaminé (principalement des nombres atomiques), des molécules telles que la contamination par les hydrocarbures) sont généralement démantelées et retraitées avant l'installation. Avec le processus de gaz réactif, le dégazage en ligne in situ peut être effectué. Retirez efficacement la pollution des hydrocarbures dans la chambre à vide en acier inoxydable. Son mécanisme de nettoyage: dans le système, le gaz oxydant (O2, N0) et la réduction du gaz (H2, N H3) sont cités dans le système pour effectuer un nettoyage de réaction chimique sur la surface du métal pour éliminer la pollution, afin d'obtenir des surfaces métalliques atomiquement propres. Le taux d'oxydation / réduction de la surface dépend de la contamination et du matériau de la surface métallique. La vitesse de réaction de surface est contrôlée en ajustant la pression et la température du gaz de réaction. Pour chaque substrat, les paramètres précis sont déterminés expérimentalement. Ces paramètres sont différents pour différentes orientations cristallographiques.

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