Étapes de nettoyage de la pièce avant le revêtement dans la machine de revêtement sous vide

Afin d'améliorer l'adhérence et le lissé du film plaqué sur la surface du substrat, ainsi que la compacité du film, avant que le substrat ne soit suspendu dans la machine de revêtement sous vide, une étape de nettoyage préliminaire doit être effectuée pour éliminer le taches d'huile, taches, poussière, pour s'assurer qu'il est dans un état propre, puis revêtement.

1. Nettoyage par chauffage sous vide

La pièce est chauffée sous pression normale ou sous vide. Favorise l'évaporation des impuretés volatiles sur la surface pour atteindre l'objectif de nettoyage. L'effet de nettoyage de cette méthode est lié à la pression ambiante de la pièce, à la durée du temps de rétention dans le vide, à la température de chauffage, au type de contaminants et au matériau de la pièce. Le principe est de chauffer la pièce. Favorise la désorption améliorée des molécules d'eau et de diverses molécules d'hydrocarbures adsorbées à sa surface. Le degré d'amélioration de la désorption dépend de la température. Sous ultra-vide, afin d'obtenir des surfaces atomiquement propres, la température de chauffage doit être supérieure à 450 degrés. La méthode de nettoyage par chauffage est particulièrement efficace. Mais parfois, cette approche peut aussi avoir des effets secondaires. Sous l'effet du chauffage, il peut arriver que certains hydrocarbures s'agrègent en agglomérats plus gros et se décomposent en même temps en résidus de carbone

2. Nettoyage par rayonnement ultraviolet

Utilise le rayonnement UV pour décomposer les hydrocarbures en surface. Par exemple, une exposition à l'air pendant 15 heures produit une surface de verre propre. Si les surfaces correctement pré-nettoyées sont placées dans une source UV générant de l'ozone. Une surface propre peut être créée en quelques minutes (processus de nettoyage). Cela indique que la présence d'ozone augmente la vitesse de nettoyage. Le mécanisme de nettoyage est le suivant : sous irradiation ultraviolette, les molécules de saleté sont excitées et dissociées, et la génération et l'existence d'ozone produisent de l'oxygène atomique hautement actif. Les molécules de saleté excitées et les radicaux libres générés par la dissociation de la saleté interagissent avec l'oxygène atomique. Des molécules plus simples et plus volatiles se forment. Tels que H2O3, CO2 et N2. La vitesse de réaction augmente avec l'augmentation de la température.

3. Nettoyage de décharge

Cette méthode de nettoyage est largement utilisée dans le nettoyage et le dégazage des systèmes à vide poussé et ultra-vide. Particulièrement utilisé dans les machines de revêtement sous vide. Un fil chaud ou une électrode est utilisé comme source d'électrons. L'application d'une polarisation négative à la surface à nettoyer peut permettre la désorption des gaz par bombardement ionique et l'élimination de certains hydrocarbures. L'effet de nettoyage dépend du matériau de l'électrode, de sa géométrie et de sa relation avec la surface. Autrement dit, cela dépend du nombre d'ions et de l'énergie des ions par unité de surface. Cela dépend donc de la puissance électrique disponible. La chambre à vide est remplie d'un gaz inerte (généralement du gaz Ar) à une pression partielle appropriée. Le nettoyage peut être réalisé par bombardement ionique par décharge luminescente à basse tension entre deux électrodes appropriées. dans cette méthode. Le gaz inerte est ionisé et bombarde la paroi interne de la chambre à vide, d'autres parties structurelles de la chambre à vide et le substrat à plaquer, ce qui peut rendre certains systèmes sous vide exempts de cuisson à haute température. De meilleurs résultats de nettoyage pour certains hydrocarbures peuvent être obtenus si de l'oxygène est ajouté au gaz chargé. Parce que l'oxygène peut oxyder certains hydrocarbures pour former des gaz volatils qui sont facilement éliminés par le système de vide. Les principaux composants des impuretés à la surface des cuves à vide poussé et ultravide en acier inoxydable sont le carbone et les hydrocarbures. En général, le carbone qu'il contient ne peut pas être volatilisé seul. Après le nettoyage chimique, il est nécessaire d'introduire un gaz mixte Ar ou Ar O2 pour le nettoyage par décharge luminescente, de sorte que les impuretés sur la surface et les gaz liés à la surface en raison de l'action chimique soient éliminés. dans le nettoyage par décharge luminescente. Les paramètres importants sont le type de tension appliquée (AC ou DC), l'amplitude de la tension de décharge, la densité de courant, le type de gaz chargé et la pression. La durée du bombardement. La forme des électrodes et le matériau et l'emplacement des pièces à nettoyer, etc.

4. Rinçage au gaz

(1) Rinçage à l'azote

Lorsque l'azote est adsorbé à la surface du matériau, en raison de la faible énergie d'adsorption, le temps de rétention en surface est extrêmement court. Même s'il est adsorbé sur la paroi de l'appareil, il est facile à pomper. L'utilisation de cette propriété de l'azote pour rincer le système de vide peut réduire considérablement le temps de pompage du système. Par exemple, avant que la machine de revêtement sous vide ne soit mise dans l'atmosphère, remplissez d'abord la chambre à vide avec de l'azote sec pour la rincer, puis remplissez-la dans l'atmosphère, le temps de pompage du prochain cycle de pompage peut être raccourci de près de moitié, car le l'énergie d'adsorption de l'azote est beaucoup plus petite que les molécules de vapeur d'eau, après avoir été remplies d'azote sous vide, les molécules d'azote sont d'abord adsorbées par la paroi de la chambre à vide. Le site d'adsorption étant fixe, il est d'abord rempli de molécules d'azote et il y a très peu de molécules d'eau adsorbées, ce qui raccourcit le temps de pompage. Si le système est pollué par les éclaboussures d'huile de la pompe à diffusion, la méthode de rinçage à l'azote peut également être utilisée pour nettoyer le système pollué. Généralement, lors de la cuisson et du chauffage du système, le rinçage du système avec de l'azote gazeux peut éliminer la pollution par les hydrocarbures.

(2) Rinçage au gaz réactif

Cette méthode est particulièrement adaptée au lavage interne (élimination de la contamination par les hydrocarbures) de gretes machines d'enduction sous vide ultra-haute en acier inoxydable. Habituellement, pour les chambres à vide et les composants sous vide de certains grands systèmes à ultra-vide, afin d'obtenir des surfaces atomiquement propres, les méthodes standard pour éliminer la contamination de surface sont le nettoyage chimique, la torréfaction du four sous vide, le nettoyage par décharge luminescente et les systèmes de vide de torréfaction énergétique d'origine. et d'autres méthodes. Les méthodes de nettoyage et de dégazage décrites ci-dessus sont couramment utilisées avant et pendant l'assemblage d'un système de vide. Après l'installation du système de vide (ou après le fonctionnement du système), étant donné que les différents composants du système de vide ont été fixés, il est difficile de dégazer les différents composants du système de vide. Une fois que le système est (accidentellement) contaminé (principalement de grands nombres atomiques), des molécules telles que la contamination par des hydrocarbures) sont généralement démantelées et retraitées avant l'installation. Avec le procédé au gaz réactif, un dégazage en ligne in situ peut être effectué. Éliminer efficacement la pollution des hydrocarbures dans la chambre à vide en acier inoxydable. Son mécanisme de nettoyage : Dans le système, les gaz oxydants (O2, N0) et les gaz réducteurs (H2, N H3) sont cités dans le système pour effectuer un nettoyage par réaction chimique sur la surface métallique afin d'éliminer la pollution, afin d'obtenir un métal atomiquement propre surfaces. Le taux d'oxydation/réduction de surface dépend de la contamination et du matériau de la surface métallique. La vitesse de réaction de surface est contrôlée en ajustant la pression et la température du gaz de réaction. Pour chaque substrat, les paramètres précis sont déterminés expérimentalement. Ces paramètres sont différents pour différentes orientations cristallographiques.

Fondée en 2007 sous le nom précédent Huahong Vacuum Technology, est professionnelle Fourniture Accessoires sous vide en Chine and Fabricants d'accessoires pour aspirateur , y compris, mais sans s'y limiter, les systèmes de pulvérisation, les unités de revêtement optique, les métalliseurs par lots, les systèmes de dépôt physique en phase vapeur (PVD), les équipements de dépôt de revêtement sous vide durs et résistants à l'usure, les revêtements de substrats en verre, PE, PC, les machines rouleau à rouleau pour le revêtement flexible substrats. Les machines sont utilisées pour une large gamme d'applications décrites ci-dessous (mais sans s'y limiter) les revêtements automobiles, décoratifs, durs, les revêtements de coupe d'outils et de métaux et les applications de revêtement à couche mince pour l'industrie et les laboratoires, y compris les universités. Danko Vacuum Technology Company Ltd s'engage pour étendre les limites de notre marché en fournissant des prix d'accessoires pour aspirateur de haute qualité, performants et de gros. Notre société se concentre fortement sur le service après-vente sur les marchés nationaux et internationaux, fournissant des plans de traitement de pièces précis et des solutions professionnelles pour répondre aux besoins des clients.