Comment résoudre la non-uniformité des films pulvérisés magnétrons?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

, l'uniformité et la direction du champ magnétique doivent être assurées de former un champ magnétique spatial relativement uniforme.

Deuxièmement, l'uniformité de la pression atmosphérique doit être assurée autant que possible. Lors de la conception de la chambre à vide, la position d'installation de la pompe à vide, le chemin Usine de machine à revêtement à vide d'évaporation de la prise de gaz de procédé et de la disposition du tuyau de procédé dans la chambre doit être envisagée.

Troisièmement, comme le champ magnétique et la pression de l'air ne peuvent pas être absolument idéaux, le champ magnétique peut être compensé par la non-uniformité de la pression de l'air pour rendre le film final uniforme.

Quatrièmement, la distance de base cible est également un facteur important affectant l'uniformité.