Méthodes de détection de fuite de vide communes

Détection des fuites par spectrométrie de masse d'hélium

Cette technologie est une technologie indispensable dans le domaine de la détection des fuites de vide. Il est largement utilisé dans la détection des fuites en raison de son efficacité de détection de fuite élevée, de son fonctionnement facile, de sa réponse à l'instrument sensible, de sa haute précision et non Fournisseurs de systèmes de revêtement PVD Chine facilement interféré par d'autres gaz. Le détecteur de fuite de spectromètre de masse d'hélium est une sorte d'instrument de détection de sérabilité du gaz basé sur le principe de spectrométrie de masse, qui utilise l'hélium comme gaz de fuite. Il est composé d'une source d'ions, d'un analyseur, d'un collecteur, d'une jauge d'ionisation à la cathode froide, d'une chambre de spectrométrie de masse, d'un système d'échappement et d'une partie électrique. Les électrons émis par le filament dans la chambre de spectrométrie de masse oscillent d'avant en arrière dans la pièce et entrent en collision avec le gaz intérieur et l'hélium entrant dans la pièce à travers le trou de fuite pour ioniser en ions positifs. Ces ions d'hélium pénètrent dans le champ magnétique sous le cerveau gauche et droit du champ électrique accéléré et dévient en raison de l'action de la force de Lorentz, formant une orbite d'arc circulaire et modifiant le champ électrique accéléré. La pression permet de détecter des ions de masse différente en atteignant le poteau de réception à travers des champs magnétiques et des emplacements de réception. La méthode d'injection d'hélium et la méthode d'absorption de l'hélium sont les deux méthodes couramment utilisées dans la détection des fuites du spectromètre de masse de l'hélium.