Notoriété commune de la pulvérisation du magnétron de revêtement à vide- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Notoriété commune de la pulvérisation du magnétron de revêtement à vide

Dc Pulvérisation de magnétron , Pulvérisation de magnétron RF, pulvérisation magnétron pulsée et pulvérisation de magnétron de fréquence moyenne

La pulvérisation réactive est d'introduire une certaine proportion de gaz réactif dans l'atmosphère de gaz inerte dans le système de pulvérisation. Habituellement, les principaux gaz réactifs sont l'oxygène et l'azote.

La méthode de la pulvérisation DC est utilisée dans la pulvérisation et le revêtement de pulvérisation réactive où le matériau pulvérisé est un matériau conducteur, et l'équipement de processus est simple et a un taux de pulvérisation élevé.

Dans un système cible à la cathode unique, la pulvérisation de magnétron AC à fréquence moyenne a le même débit de charge et l'effet de prévention de l'arc que la pulvérisation du magnétron de pouls. La technologie de pulvérisation AC à fréquence moyenne est également appliquée au système de pulvérisation Twin Target (TWIN2MAG). La butte de la cible jumelle de fréquence moyenne consiste à connecter les deux extrémités de sortie de l'alimentation AC de fréquence moyenne aux cathodes respectifs du champ magnétique magnétique fermé à double cible à double cible. Par conséquent, des tensions alternées avec des phases opposées sont respectivement obtenues sur les doubles cibles, et une paire de cibles de pulvérisation de magnétron devient alternativement des cathodes et des anodes.

La technologie de pulvérisation de la cible jumelle améliore considérablement la stabilité de l'opération de pulvérisation du magnétron, ce qui peut éviter l'accumulation de charges sur la surface cible empoisonnée, provoquant le problème de l'allumage de l'arc sur la surface cible et la disparition de l'anode. Déposer les bases de la production de masse.

Machine de revêtement de pulvérisation de magnétron

Les revêtements multi-arc et les revêtements de pulvérisation peuvent être déposés dans une large gamme de couleurs. Le plan des couleurs peut être encore amélioré en introduisant des gaz réactifs dans la chambre pendant le processus de dépôt. Les gaz réactifs largement utilisés pour les revêtements décoratifs sont l'azote, l'oxygène, l'argon ou l'acétylène. Les revêtements décoratifs sont produits dans une certaine gamme de couleurs, selon le rapport métal / gaz dans le revêtement et la structure du revêtement. Ces deux facteurs peuvent être modifiés en modifiant les paramètres de dépôt.

Avant le dépôt, les pièces sont nettoyées afin que la surface soit exempte de poussière ou d'impuretés chimiques. Une fois le processus de revêtement démarré, tous les paramètres de processus pertinents sont surveillés et contrôlés en continu par un système de contrôle informatique automatique.