Le noyau du système de dépôt de pulvérisation du magnétron DC réside dans la combinaison ingénieuse de l'alimentation en courant continu et du champ magnétique. Dans un environnement sous vide, l'alimentation CC applique un champ électrique haute tension entre la cible et le substrat. Lorsque la résistance au champ électrique est suffisamment grande, les molécules de gaz inertes entrant dans la chambre à vide sont ionisées pour former du plasma. Les ions positifs de ces plasmas sont accélérés sous l'action du champ électrique et frappent la surface de la cible à une vitesse très élevée.
Pendant le processus de collision, les atomes ou les molécules à la surface de la cible sont pulvérisés car ils obtiennent suffisamment d'énergie pour former des particules pulvérisées. Ces particules volent dans le vide et finissent par se déposer à la surface du substrat pour former le film requis. Il convient de noter que ce processus n'est pas seulement une simple collision physique, mais également accompagnée de réactions physiques et chimiques complexes, telles que la neutralisation des ions, la capture et la réémission d'électrons, etc.
Une bafouillissement de DC simple peut entraîner des problèmes tels que la surchauffe du substrat et une faible efficacité de pulvérisation. Le système de dépôt de pulvérisation du magnétron DC introduit un champ magnétique. Le générateur de champ magnétique génère un champ magnétique fort à l'arrière de la cible. Ce champ magnétique interagit avec le champ électrique pour lier les électrons près de la surface cible, formant une région plasmatique à haute densité. Ces électrons effectuent un mouvement en spirale dans le champ magnétique, augmentant la fréquence des collisions avec les molécules de gaz de travail, améliorant l'efficacité d'ionisation et le taux de pulvérisation.
Résumé du système
Les revêtements multi-arc et les revêtements de pulvérisation peuvent être déposés dans une large gamme de couleurs. Le plan des couleurs peut être encore amélioré en introduisant des gaz réactifs dans la chambre pendant le processus de dépôt. Les gaz réactifs largement utilisés pour les revêtements décoratifs sont l'azote, l'oxygène, l'argon ou l'acétylène. Les revêtements décoratifs sont produits dans une certaine gamme de couleurs, selon le rapport métal / gaz dans le revêtement et la structure du revêtement. Ces deux facteurs peuvent être modifiés en modifiant les paramètres de dépôt.
Avant le dépôt, les pièces sont nettoyées afin que la surface soit exempte de poussière ou d'impuretés chimiques. Une fois que le processus de revêtement a commencé, tous les paramètres de processus pertinents sont surveillés et contrôlés en continu par un système de contrôle automatique automatique.
• Matériau de substrat: verre, métal (acier au carbone, acier inoxydable, laiton), Céramique, plastique, bijoux.
• Type de structure: structure verticale, # 304 en acier inoxydable.
• Film de revêtement: film métallique multifonctionnel, film composite, film conducteur transparent, film croissant de réflectance, film de blindage électromagnétique, film décoratif.
• Couleur du film: multi-couleurs, noir pistolet, couleur dorée en titane, couleur dorée rose, couleur en acier inoxydable, couleur violette, noir foncé, bleu foncé et autres couleurs plus.
• Type de film: Tin, CRN, ZRN, Ticn, Ticrn, Tinc, Tialn et DLC.
• Consommables en production: titane, chrome, zirconium, fer, cible en alliage; cible plane, cible cylindrique, cible jumelle, cible opposée.
APPLICATION:
• Glasserie, comme la tasse en verre, les lampes en verre, les œuvres d'art en verre.
• Shell de téléphone en plastique, pièces de téléphone.
• Tile de mosaïque.
• L'industrie électronique, comme le film EMI.
• Regarde des pièces, comme le boîtier de montre et la ceinture.
• Tableaux de table, comme des fourchettes et des couteaux en métal.
• Golf, comme la tête de golf, le poteau de golf et les balles de golf.
• Produits sanitaires / marchandises de salle de bain.
• Poignées de porte et serrures.
• bijoux en métal.